掃描電子顯微鏡原則上講，利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10mm的電子束，并在試樣表面聚焦。末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。
飛納高分辨率專業版PhenomPro可選配豐富的拓展功能選件，如3D粗糙度重建（3DRoughnessReconstruction）、纖維統計分析測量系統（FiberMetric）、孔徑統計分析測量系統（PoreMetric）、顆粒統計分析測量系統（ParticleMetric）、超大視野拼圖（AutoImageMapping）、遠程操作等。軟件可以自動采集數據、處理圖片。比如，纖維統計測量系統可以自動識別、測量纖維樣品，而大視野拼圖則自動采集生成高分辨、大視野的樣品全景照片，等等。
掃描電子顯微鏡觀測電疇是通過對樣品表面預先進行化學腐蝕來實現的，由于不同極性的疇被腐蝕的程度不一樣，利用腐蝕劑可在鐵電體表面形成凹凸不平的區域從而可在顯微鏡中進行觀察。
